Z-позиционеры P79.Z200S-D1
Характеристики
| Время шага без нагрузки, мс- | Высота столика, мм29 | Грузоподъёмность, кг1.5 |
| Длинного ходаНет | Допуск по времени шага, %20 | Допуск по массе, %5 |
| Допуск по резонансной частоте, %20 | Жёсткость, Н/мкм0.2 | Количество осей1 |
Технические характеристики Z-позиционеры P79.Z200S-D1
| Время шага без нагрузки, мс | - |
|---|---|
| Высота столика, мм | 29 |
| Грузоподъёмность, кг | 1.5 |
| Длинного хода | Нет |
| Допуск по времени шага, % | 20 |
| Допуск по массе, % | 5 |
| Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
| Жёсткость, Н/мкм | 0.2 |
| Количество осей | 1 |
| Крен, мкрад | <20 |
| Максимальная длина хода, мкм | 200 |
| Масса, г | 800 |
| Масса, кг | 0.8 |
| Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
| Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
| Номинальная длина хода, мкм | 160 |
| Повторяемость, %F.S. | 0.1 |
| Погрешность грузоподъёмности, % | 20 |
| Погрешность жёсткости, % | 20 |
| Погрешность хода, % | 20 |
| Погрешность электроёмкости, % | 20 |
| Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
| Прямолинейность, %F.S. | 0.15 |
| Рабочие оси | Z |
| Размер столика, мм | 190 х 140 |
| Разрешение, нм | 6 |
| Резонансная частота без нагрузки, Гц | 100 |
| Рыскание, мкрад | <20 |
| Световое окно, мм | 128,5 х 86,5 |
| Световое отверстие | Есть |
| Совместим с вакуумом | Нет |
| Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
| Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
| Тангаж, мкрад | <20 |
| Тип управления | С обратной связью |
| Электроёмкость, мкФ | 21.6 |
Характеристики
| Датчик | SGS |
|---|---|
| Материал | Алюминий, сталь |
Вы смотрели
