Позиционеры с пьезодоводкой H81A.XYZ20K
Характеристики
| Высота столика, мм62.5 | Грузоподъёмность, кг1 | Длина хода, мм4 х 4 х 4 |
| Длинного ходаДа | Количество каналов3 | Количество осей3 |
| Напряжение номинального хода, В0 - 150 | Номинальная длина хода, мкм18 х 18 х 18 | Оси длинного ходаX, Y, Z |
Описание
Технические характеристики Позиционеры с пьезодоводкой H81A.XYZ20K
| Высота столика, мм | 62.5 |
|---|---|
| Грузоподъёмность, кг | 1 |
| Длина хода, мм | 4 х 4 х 4 |
| Длинного хода | Да |
| Количество каналов | 3 |
| Количество осей | 3 |
| Напряжение номинального хода, В | 0 - 150 |
| Номинальная длина хода, мкм | 18 х 18 х 18 |
| Оси длинного хода | X, Y, Z |
| Перемещение по оси X, мкм | 4 000 + 18 |
| Перемещение по оси Y, мкм | 4 000 + 18 |
| Перемещение по оси Z, мкм | 4 000 + 18 |
| Погрешность хода, % | 20 |
| Погрешность электроёмкости, % | 20 |
| Рабочие оси | X, Y, Z |
| Размер столика, мм | 60 х 60 |
| Разрешение по оси X, нм | 0.2 |
| Разрешение по оси Y, нм | 0.2 |
| Разрешение по оси Z, нм | 0.2 |
| Разрешение, нм | 0.2 |
| Световое отверстие | Нет |
| Совместим с вакуумом | Нет |
| Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
| Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
| Тип многоосевого | Интегрированный |
| Тип управления | Без обратной связи |
| Точность, мм/оборот | 0.5 |
| Электроёмкость, мкФ | 1.8 |
Характеристики
| Материал | Сталь, Алюминий |
|---|
Вы смотрели
