Z-позиционеры XD781.100S
Характеристики
| Высота столика, мм28 | Грузоподъёмность, кг1 | Длинного ходаНет |
| Допуск по массе, %5 | Допуск по резонансной частоте, %20 | Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г100 |
| Количество осей1 | Максимальная длина хода, мкм100 | Масса, г875 |
Технические характеристики Z-позиционеры XD781.100S
| Высота столика, мм | 28 |
|---|---|
| Грузоподъёмность, кг | 1 |
| Длинного хода | Нет |
| Допуск по массе, % | 5 |
| Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
| Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г | 100 |
| Количество осей | 1 |
| Максимальная длина хода, мкм | 100 |
| Масса, г | 875 |
| Масса, кг | 0.875 |
| Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
| Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
| Номинальная длина хода, мкм | 80 |
| Повторяемость, %F.S. | 0.1 |
| Погрешность хода, % | 20 |
| Погрешность электроёмкости, % | 20 |
| Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
| Прямолинейность, %F.S. | 0.2 |
| Рабочие оси | Z |
| Размер столика, мм | 226 х 177 |
| Разрешение, нм | 3 |
| Резонансная частота без нагрузки, Гц | 300 |
| Резонансная частота с нагрузкой, Гц | 200 |
| Рекомендованный контроллер | E01.D1, E53 |
| Световое окно, мм | 191,2 х 140,4 |
| Световое отверстие | Есть |
| Совместим с вакуумом | Нет |
| Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
| Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
| Тип управления | С обратной связью |
| Электроёмкость, мкФ | 5.4 |
Характеристики
| Датчик | SGS |
|---|---|
| Материал | Алюминий, сталь |
