Z-позиционеры XP-611.Z100S
Характеристики
| Время шага без нагрузки, мс10 | Габариты, мм35×35×22 | Грузоподъёмность, кг1.2 |
| Длина кабеля, м1.5 | Длинного ходаНет | Допуск по времени шага, %20 |
| Допуск по массе, %5 | Допуск по резонансной частоте, %20 | Жёсткость, Н/мкм0.3 |
Технические характеристики Z-позиционеры XP-611.Z100S
| Время шага без нагрузки, мс | 10 |
|---|---|
| Габариты, мм | 35×35×22 |
| Грузоподъёмность, кг | 1.2 |
| Длина кабеля, м | 1.5 |
| Длинного хода | Нет |
| Допуск по времени шага, % | 20 |
| Допуск по массе, % | 5 |
| Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
| Жёсткость, Н/мкм | 0.3 |
| Количество осей | 1 |
| Крен, мкрад | <15 |
| Максимальная длина хода, мкм | 100 |
| Масса, г | 80 |
| Масса, кг | 0.08 |
| Мощность толкающего/тянущего усилия, Н | 30.10 |
| Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
| Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
| Номинальная длина хода, мкм | 80 |
| Повторяемость, %F.S. | 0.05 |
| Погрешность длины кабеля, мм | ±10 |
| Погрешность жёсткости, % | 20 |
| Погрешность хода, % | 10 |
| Погрешность электроёмкости, % | 20 |
| Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
| Прямолинейность, %F.S. | 0.2 |
| Рабочие оси | Z |
| Размер столика, мм | 35 х 35 |
| Разрешение, нм | 3 |
| Резонансная частота без нагрузки, Гц | 280 |
| Рекомендованный контроллер | E01.D1, E53 |
| Рыскание, мкрад | <15 |
| Световое отверстие | Нет |
| Совместим с вакуумом | Нет |
| Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
| Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
| Тангаж, мкрад | <15 |
| Температура эксплуатации, °С | -20 - 80 |
| Тип управления | С обратной связью |
| Электроёмкость, мкФ | 1.8 |
Характеристики
| Датчик | SGS |
|---|---|
| Материал | Сталь, Алюминий |
Вы смотрели
