Z-позиционеры P77.S160A
Характеристики
| Время шага без нагрузки, мс3.5 | Высота столика, мм39 | Габариты, мм220×220×39 |
| Горизонтальная грузоподъёмность, кг5 | Грузоподъёмность, кг10 | Длина кабеля, м1.5 |
| Длинного ходаНет | Допуск по времени шага, %20 | Допуск по массе, %5 |
Технические характеристики Z-позиционеры P77.S160A
| Время шага без нагрузки, мс | 3.5 |
|---|---|
| Высота столика, мм | 39 |
| Габариты, мм | 220×220×39 |
| Горизонтальная грузоподъёмность, кг | 5 |
| Грузоподъёмность, кг | 10 |
| Длина кабеля, м | 1.5 |
| Длинного хода | Нет |
| Допуск по времени шага, % | 20 |
| Допуск по массе, % | 5 |
| Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
| Инвертированная грузоподъёмность, кг | 2 |
| Количество осей | 1 |
| Крен, мкрад | < 10 |
| Максимальная длина хода, мкм | 17.5 |
| Масса, г | 2900 |
| Масса, кг | 2.9 |
| Мощность толкающего/тянущего усилия, Н | 100/20 |
| Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
| Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
| Номинальная длина хода, мкм | 14 |
| Погрешность длины кабеля, мм | ±10 |
| Погрешность хода, % | 10 |
| Погрешность электроёмкости, % | 20 |
| Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
| Рабочие оси | Z |
| Размер столика, мм | 220 х 220 |
| Разрешение, нм | 0.5 |
| Разъём кабеля | LEMO |
| Резонансная частота без нагрузки, Гц | 120 |
| Рекомендованный контроллер | E53, E70 |
| Рыскание, мкрад | < 10 |
| Световое отверстие | Есть |
| Световой диаметр, мм | 160 |
| Совместим с вакуумом | Нет |
| Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
| Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
| Тангаж, мкрад | < 10 |
| Температура эксплуатации, °С | -20 - 80 |
| Тип управления | С обратной связью |
| Электроёмкость, мкФ | 7.2 |
Характеристики
| Датчик | SGS |
|---|---|
| Материал | Алюминий, сталь |