Z-позиционеры P18.Z200S
Новинка
Характеристики
Грузоподъёмность, кг1 | Длинного ходаНет | Допуск по резонансной частоте, %20 |
Жёсткость, Н/мкм0.3 | Количество каналов1 | Количество осей1 |
Крен, мкрад<20 | Максимальная длина хода, мкм200 | Мощность толкающего/тянущего усилия, Н50/10 |
Технические характеристики Z-позиционеры P18.Z200S
Грузоподъёмность, кг | 1 |
---|---|
Длинного хода | Нет |
Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
Жёсткость, Н/мкм | 0.3 |
Количество каналов | 1 |
Количество осей | 1 |
Крен, мкрад | <20 |
Максимальная длина хода, мкм | 200 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н | 50/10 |
Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
Номинальная длина хода, мкм | 160 |
Повторяемость, %F.S. | 0.15 |
Погрешность жёсткости, % | 20 |
Погрешность хода, % | 10 |
Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Прямолинейность, %F.S. | 0.2 |
Рабочие оси | Z |
Размер столика, мм | 37 х 37 |
Разрешение, нм | 7 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц | 300 |
Рекомендованный контроллер | E01.D1, E53 |
Рыскание, мкрад | <20 |
Световое отверстие | Есть |
Световой диаметр, мм | 35 |
Совместим с вакуумом | Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
Тангаж, мкрад | <20 |
Тип управления | С обратной связью |
Характеристики
Датчик | SGS |
---|---|
Материал | Алюминий |



