Z-позиционеры P63.Z7S
Новинка
Характеристики
Время шага без нагрузки, мс1.5 | Габариты, мм30×30×24 | Грузоподъёмность, кг0.8 |
Длина кабеля, м1.5 | Длинного ходаНет | Допуск по времени шага, %20 |
Допуск по массе, %5 | Допуск по резонансной частоте, %20 | Жёсткость, Н/мкм2 |
Технические характеристики Z-позиционеры P63.Z7S
Время шага без нагрузки, мс | 1.5 |
---|---|
Габариты, мм | 30×30×24 |
Грузоподъёмность, кг | 0.8 |
Длина кабеля, м | 1.5 |
Длинного хода | Нет |
Допуск по времени шага, % | 20 |
Допуск по массе, % | 5 |
Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
Жёсткость, Н/мкм | 2 |
Количество осей | 1 |
Крен, мкрад | <5 |
Максимальная длина хода, мкм | 6.8 |
Масса, г | 70 |
Масса, кг | 0.07 |
Мощность толкающего/тянущего усилия, Н | 12.2 |
Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
Номинальная длина хода, мкм | 5.5 |
Повторяемость, %F.S. | 0.2 |
Погрешность длины кабеля, мм | ±10 |
Погрешность жёсткости, % | 20 |
Погрешность хода, % | 10 |
Погрешность электроёмкости, % | 20 |
Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Прямолинейность, %F.S. | 0.4 |
Рабочие оси | Z |
Размер столика, мм | 30 х 30 |
Разрешение, нм | 0.2 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц | 2500 |
Рекомендованный контроллер | E01.D1, E53 |
Рыскание, мкрад | <5 |
Световое отверстие | Нет |
Совместим с вакуумом | Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
Тангаж, мкрад | <5 |
Температура эксплуатации, °С | -20 - 80 |
Тип управления | С обратной связью |
Электроёмкость, мкФ | 0.8 |
Характеристики
Датчик | SGS |
---|---|
Материал | Алюминий |



