Z-позиционеры XD781.100S
Новинка
Характеристики
Высота столика, мм28 | Грузоподъёмность, кг1 | Длинного ходаНет |
Допуск по массе, %5 | Допуск по резонансной частоте, %20 | Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г100 |
Количество осей1 | Максимальная длина хода, мкм100 | Масса, г875 |
Технические характеристики Z-позиционеры XD781.100S
Высота столика, мм | 28 |
---|---|
Грузоподъёмность, кг | 1 |
Длинного хода | Нет |
Допуск по массе, % | 5 |
Допуск по резонансной частоте, % | 20 |
Использованная нагрузка для измерения резонансной частоты, г | 100 |
Количество осей | 1 |
Максимальная длина хода, мкм | 100 |
Масса, г | 875 |
Масса, кг | 0.875 |
Напряжение максимального хода, В | 0 - 150 |
Напряжение номинального хода, В | 0 - 120 |
Номинальная длина хода, мкм | 80 |
Повторяемость, %F.S. | 0.1 |
Погрешность хода, % | 20 |
Погрешность электроёмкости, % | 20 |
Примечание | Кастомизируется длина кабеля и разъём, Опционально доступны крио и вакуум версии |
Прямолинейность, %F.S. | 0.2 |
Рабочие оси | Z |
Размер столика, мм | 226 х 177 |
Разрешение, нм | 3 |
Резонансная частота без нагрузки, Гц | 300 |
Резонансная частота с нагрузкой, Гц | 200 |
Рекомендованный контроллер | E01.D1, E53 |
Световое окно, мм | 191,2 х 140,4 |
Световое отверстие | Есть |
Совместим с вакуумом | Нет |
Совместим со сверхвысокими температурами | Нет |
Совместим со сверхнизкими температурами | Нет |
Тип управления | С обратной связью |
Электроёмкость, мкФ | 5.4 |
Характеристики
Датчик | SGS |
---|---|
Материал | Алюминий, сталь |



